產品介紹 (光學類測定機)

自動化顯微光學膜厚儀

●Download Datasheet

●檢測功能：微小樣品之反射率、穿透率、膜厚及色差

●適用波長：400-900nm

●檢測速度：1-3秒

●取樣點直徑：10um – 1mm

●視野直徑：＞300um

●光源：100W 鹵素燈源兩組

●移動平台：20cm×20 cm 電動XY平台(可改用手動平台)

●軟體：FilmSmart software

●適用樣品：光學鍍膜(如SiO2, NOx, ITO, ZnO, CuO 等on玻璃、壓克力、PET and Silicon wafer)、GaN on Sapphire、彩色濾光片等。